センター長 　白井　泰治　教授 極限微小構造研究部門 超微小機械分野 ・ 香月　正司　教授　（兼任） ・ 芝原　正彦　助教授 原子欠陥評価信頼性診断分野 ・ 白井　泰治　教授　(センター長併任） ・ 荒木　秀樹　助教授 ・ 水野　正隆　助手 原子操作組立分野 ・ 森田　清三　教授　（兼任） ・ 阿部　真之　助教授　（兼任） ・ 西　竜治　助手 プラズマ粒子制御研究部門 プラズマ物性分野 ・ 岡田　成文　教授 ・ 杉本　敏司　助教授 エネルギー形態制御分野 ・ 浜口　智志　教授 ・ 吉村　智　助教授 ・ 北野　勝久　助手 プラズマ粒子技術分野 ・ 福田　武司　教授 ・ 井　通暁　講師 超微細コンポジット研究部門 原子配列制御材料分野 ・ 中谷　亮一　教授 分子集積技術分野 ・ 小松　満男　教授　（兼任） ・ 芝田　育也　助教授 新機能分子創製化学分野 ・ 馬場　章夫　教授　（兼任） ・ 寺尾　潤　助手

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