 極限微小構造研究部門
原子オーダーの微小な機械および構造物の作製、原子配列の欠陥の診断などを行う部門です。
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超微小機械分野
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フラーレン類の燃焼合成プロセスの開発 |
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界面ナノ構造近傍の熱流動の分子動力学シミュレーション |
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超微小火炎の作成と制御 |
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フラーレン類の燃焼合成実験 |
原子欠陥評価信頼性診断分野
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新しい陽電子消滅実験装置の開発 |
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陽電子消滅法を用いた原子欠陥評価信頼性診断研究 |
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欠陥構造のコンピュータシミュレーション |
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エネルギー可変低速陽電子ビーム材料評価装置 |
原子操作組立分野
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ナノ力学に基づいた原子分解能顕微鏡の開発 |
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ナノ力学に基づいた原子分子操作・微細組立 |
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原子レベルの新現象探索 |
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Siの非接触
原子間力顕微鏡による凹凸像 |
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プラズマ粒子制御研究部門
プラズマ物理基礎現象の解明と、それを用いた超微細構造形成技術等の応用基盤技術の確立を進める部門です。
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プラズマ物性分野
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高温プラズマにおける複雑現象・自己組織化現象の解明と産業応用の研究 |
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プラズマと固相との境界協同現象に関する研究とナノ構造形成・制御への応用 |
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メタンプラズマの発光 |
エネルギー形態制御分野
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非線形プラズマ物理学およびビーム・プラズマ照射下のナノスケール表面物性の理論的・実験的研究 |
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各種コンピュータシミュレーション技術の開発と応用 |
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半導体超微細加工プロセス、プラズマ・ナノテクノロジー、光・イオンビームプロセス等の技術開発 |
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メタンからの水素脱離実験装置 |
プラズマ粒子技術分野
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反応性プラズマにおける計測制御技術の高度化 |
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粒子ビームを援用した統合技術による物質構造制御技術の開発
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イオンビームデポジション装置 |
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超微細コンポジット研究部門
物理的・化学的相互作用を利用した新機能素子・機能材料の作製法・合成法を研究・開発する部門です。
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原子配列制御材料分野
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超微小磁気記憶素子の開発 |
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磁性ドット間静磁結合状態の解析とその演算素子への応用 |
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微小磁性メモリセル |
分子集積技術分野
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低分子集積効果を活用する新規蛍光材料の開発 |
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固相表面集積型反応場による有機合成 |
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元素の複合化による新反応剤、触媒の開発 |
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新規に開発した複素環系蛍光物質の固体状態での発光 |
新機能分子創製化学分野
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異元素相互作用に基づく新規触媒機能分子の創製 |
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環境負荷低減型反応プロセスの開発 |
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典型元素、ヘテロ元素、遷移金属の特異的機能発現の原因解明と応用 |
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\新規化合物の合成実験風景 |
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